簡要描述:LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥由ZZYVP-16B供氮閥、ZZVP-16K泄氮閥和HXF-10呼吸閥三部份組成。供氮閥一般設(shè)定壓力1KPa,泄氮閥設(shè)定壓力2Kpa,呼吸閥設(shè)定壓力+3KPa/-298Pa。當水箱出水閥開啟時,液面下降,壓力降低,供氮閥開啟,向注入氮氣。當進水液位高于泄氮壓壓時,自動打開泄壓。
一、什么是超純水:
超純水是為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)出來的水,其電阻率大于18 MΩcm,或接近18.3 MΩcm極限值(25℃)。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 。這樣的水是一般工藝很難達到的程度,理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理,但是交換樹脂的再生不便,質(zhì)量難以保證。
二、為什么超純水需要氮氣保護:
超純水系統(tǒng)中為什么需要用氮封水箱?我們都知道空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強,故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右。因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸,而氮封水箱是常見,實施簡單,效果好。
超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi),水箱內(nèi)氮氣壓力不大于1Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。
三、超純水的應(yīng)用范圍:
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
3、單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
四、氮封系統(tǒng)簡介:
LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥由ZZYVP-16B供氮閥、ZZVP-16K泄氮閥和HXF-10呼吸閥三部份組成,形成二次保護裝置。供氮閥一般設(shè)定壓力1KPa,泄氮閥設(shè)定壓力2Kpa,呼吸閥設(shè)定壓力+3KPa/-298Pa。
1、供氮閥介紹:
氮封系統(tǒng)是一套無需外加能源,利用被調(diào)介質(zhì)本身壓力變化而實現(xiàn)自動調(diào)節(jié),使閥后壓力恒定,整機具有動作靈敏、控制壓力波動小、節(jié)約能源。它由供氮閥、泄氮閥和呼吸閥三部份組成,形成二次保護裝置。
LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥是一套自力式微壓力控制系統(tǒng), 用于保持容器頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定,以避免容器內(nèi)物料與空氣直接觸,防止物料揮發(fā),被告氧化,以及容器的安全。應(yīng)用各類大型儲罐的氣封保護系統(tǒng)。當罐內(nèi)壓力降低時,供氮閥打開補充罐內(nèi)氮氣壓力;當罐內(nèi)壓力超高時,泄氮閥打開自動泄壓。始終保護罐內(nèi)壓力恒定。
采用動力源與信號點分開檢測的方法,外加可調(diào)節(jié)流裝置,使整臺閥門的調(diào)節(jié)精度大大提高,減壓比最大可達2000:1。廣泛應(yīng)用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動控制場合,特別適合作為氮封的供氮閥使用,具有持續(xù)供氮壓力波動小、反應(yīng)靈敏等特點。
2、泄氮閥介紹:
主要用于超純水箱氮封系統(tǒng)泄壓用,當水箱內(nèi)壓力超高時,自動打開泄壓,以保護水箱安全性,與呼吸閥的工作原理一致。
它主要由執(zhí)行機構(gòu)、下閥蓋、閥體、閥內(nèi)件等部件組成。整體為內(nèi)取壓式,無需像供氮閥另接導(dǎo)壓管進行壓反饋。使用安全更方便。
四、超線水箱氮封系統(tǒng)整體工作原理:
當儲罐出水閥開啟,放料時,液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)氮氣壓力降低,ZZYVP-16B供氮閥開啟,向儲罐注入氮氣,罐內(nèi)氮氣壓力上升,當罐內(nèi)壓力上升至供氮閥壓力設(shè)定值時,供氮閥自動關(guān)閉。
當儲罐進水閥開啟,進料時,液面上降,氣相部份容積減小,罐內(nèi)壓力升高,當高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設(shè)定值時,泄氮閥打開,向外界釋放氮氣,罐內(nèi)氮氣壓力下降,降至泄氮閥壓力設(shè)定值時,泄氮閥自動關(guān)閉。
五、安裝、維護與調(diào)試:
1、安裝:
(1)檢查整機零件是否缺損與松動,對使用有害人體健康的介質(zhì),必須進行強度、密封、泄漏與精度測試。
(2)在安裝前,對管道進行清洗(否則由于焊渣等管道垃圾,損壞閥芯密封面,導(dǎo)致閥門不能正常工作),閥門入口處要有足夠的直管段,并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接,要注意同軸度。
(3)安裝場地應(yīng)考慮到人員與設(shè)備的安全,即便于操作,又有利于拆裝與維修。
(4)閥門應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上,導(dǎo)壓管必須安裝在距離閥出口至少六倍于公稱通徑的閥后管道上。閥自重較大與有振動的場合,要用支撐架,盡量避免水平安裝。
(5)介質(zhì)流動方向應(yīng)與閥體上的箭頭指向一致。因微壓閥屬于精密儀表,其中膜片直接承受介質(zhì)壓力,若閥門反裝或管道有反沖壓力,則膜片由于受壓過高導(dǎo)致膜片損壞,閥門不能工作。閥門應(yīng)在環(huán)境溫度-25~+55℃場所使用。
(6)為使自控系統(tǒng)失靈或檢修閥門時,仍能連續(xù)生產(chǎn),應(yīng)設(shè)置旁路閥。
2、維護:
(1)清洗閥門:對清洗一般介質(zhì),只要用水洗凈就可以。但對清洗有害健康的介質(zhì),首先要了解其性質(zhì),在選用相應(yīng)的清洗辦法。
(2)閥門的拆卸:將外露表面生銹的零件先除銹,但在除銹前,要保護好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時應(yīng)使用專用工具。
(3)閥芯、閥座:二密封面有較小的銹斑與磨損,可用機械加工的方法進行修理,如損壞嚴重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面,都必須進行研磨。
(4)閥桿:表面損壞,必須換新。
(5)壓縮彈簧:如有裂紋等影響強度的缺陷,必須換新。
(6)易損零件:密封墊片與O型圈,每次檢修時,全部換新。膜片必須檢查是否有可能發(fā)生裂紋、老化與腐蝕等痕跡,根據(jù)檢驗結(jié)果,決定是否更換,但膜片使用期一般最多2~3年。
(7)閥門組裝要注意對中,螺栓要在對角線上擰緊,滑動部分要加潤滑油。組裝后應(yīng)按產(chǎn)品出廠測試項目與方法調(diào)試,并在這期間,可更準確地調(diào)整填料壓緊力與閥芯關(guān)閉位置。
3、調(diào)試:
所需要壓力值是對執(zhí)行器頂部的調(diào)節(jié)螺桿或螺母的操作而得到調(diào)整,打開頂部的防塵蓋,用扳手調(diào)整調(diào)節(jié)螺桿或螺母。順時針方向旋轉(zhuǎn)使設(shè)定壓力增大,逆時針旋轉(zhuǎn)則使設(shè)定壓力減小。安裝在微、差壓調(diào)節(jié)閥后的壓力表,可使工作人員借以觀察調(diào)整后的壓力設(shè)定值。
4、注意事項:
(1)嚴禁調(diào)壓閥安裝后再進行焊接。
(2)調(diào)壓閥投入運行前特別注意沖刷、清洗管道,防止焊渣、污物、卡在節(jié)流口,破壞密封面。造成使用前密封面先損壞,調(diào)壓閥失效的現(xiàn)象。
(3)沖洗管道時應(yīng)使調(diào)壓閥處于全開位置,便于污物、硬渣通過。
六、訂貨時請注明下列內(nèi)容::
(1)閥門型號
(2)通徑×閥座尺寸Kv值
(3)閥體壓力及連接形式
(4)閥體和閥內(nèi)組件的材料
(5)閥特性及閥芯的形式
(6)上閥蓋形式
(7)執(zhí)行機構(gòu)形式,是否帶手輪機構(gòu)及供氣壓力
(8)正/反作用(氣關(guān)式或氣開式)
(9)附件(帶過濾器減壓閥等)
(10)特殊要求(禁水處理,禁銅等)
(11)介質(zhì)名稱
(12)正常流量及最大流量
(13)介質(zhì)壓力,閥全開和全閉時閥進口和出口壓力
(14)介質(zhì)溫度和比重
(15)介質(zhì)粘度,是否